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原子力顯微鏡(atomic force microscope,簡稱AFM)利用原子之間的范德華力作用來呈現樣品的表面特性。利用微懸臂間接地感受和放大原子之間的作用力,從而達到檢測的目的。具有原子級的解析度。由於原子力顯微鏡既可以觀察導體,也可以觀察非導體,從而彌補了掃描隧道顯微鏡的不足。 原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig與史丹佛大學的Quate 於一九八五年所發明的,其目的是為了使非導體也可以採用掃描探針顯微鏡(SPM)進行觀測。原子力顯微鏡(AFM)與掃描隧道顯微鏡(STM)最大的差別在於並非利用電子隧道效應,而是利用原子之間的范德華力(Van Der Waals Force)作用來呈現樣品的表面特性。